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電子薄膜應力分布測試儀
電子薄膜應力分布測試儀
產品型號：BGS-6341 停產
產品概述:

電子薄膜應力分布測試儀 型號：BGS-6341

該產品主要應用在微電子、光電子生產線上和科研、教學等領域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件面形和平整度面形、 基片曲率
半徑測量測試。該儀器總測量點數多, 能給出全場面型分布結果, 適合于微電子生產線上產品質量的快速檢驗和微電子生產工藝研究。
儀器基于干涉計量的全場測試原理, 可實時觀測面型的分布, 迅速了解被測樣品的形貌及應力集中位置, 及時淘汰早期失效產品。
國際首創的錯位相移技術
計算機自動條紋處理
測試過程全自動
先進的曲面補償測試原理
最大樣品尺寸 ≤100mm (4英寸)
曲率范圍 |R|≥5米
測試精度 5%
單片測量時間 3分鐘/片
結果類型 面形、曲率半徑、應力分布、公式表示、數據表格
圖形顯示功能 三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源 AC 220V±10%, 50Hz±5%
最大功耗 100W
外型尺寸(L×W×H) 285mm×680mm×450mm
重量 36kg

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