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電子薄膜應(yīng)力分布測試儀
電子薄膜應(yīng)力分布測試儀
產(chǎn)品型號:BGS-6341 停產(chǎn)
產(chǎn)品概述:

電子薄膜應(yīng)力分布測試儀 型號:BGS-6341

該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子生產(chǎn)線上和科研、教學(xué)等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、 基片曲率
半徑測量測試。該儀器總測量點(diǎn)數(shù)多, 能給出全場面型分布結(jié)果, 適合于微電子生產(chǎn)線上產(chǎn)品質(zhì)量的快速檢驗(yàn)和微電子生產(chǎn)工藝研究。
儀器基于干涉計(jì)量的全場測試原理, 可實(shí)時觀測面型的分布, 迅速了解被測樣品的形貌及應(yīng)力集中位置, 及時淘汰早期失效產(chǎn)品。
國際首創(chuàng)的錯位相移技術(shù)
計(jì)算機(jī)自動條紋處理
測試過程全自動
先進(jìn)的曲面補(bǔ)償測試原理
最大樣品尺寸 ≤100mm (4英寸)
曲率范圍 |R|≥5米
測試精度 5%
單片測量時間 3分鐘/片
結(jié)果類型 面形、曲率半徑、應(yīng)力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示功能 三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源 AC 220V±10%, 50Hz±5%
最大功耗 100W
外型尺寸(L×W×H) 285mm×680mm×450mm
重量 36kg

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