產(chǎn)品分類
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北京恒奧德科技有限公司 010-51666869 傳 真:010-69807135 13120411557 18701256112 聯(lián)系人:李紅慧 1575574360 1321298635 1445496132 號院16號樓317 (北京市地質(zhì)工程勘察院院內(nèi))
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電子薄膜應(yīng)力分布測試儀
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電子薄膜應(yīng)力分布測試儀
產(chǎn)品型號:BGS-6341 停產(chǎn)
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產(chǎn)品概述: | ||||||||||||||||||||||||
電子薄膜應(yīng)力分布測試儀 型號:BGS-6341 該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子生產(chǎn)線上和科研、教學(xué)等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、 基片曲率
半徑測量測試。該儀器總測量點(diǎn)數(shù)多, 能給出全場面型分布結(jié)果, 適合于微電子生產(chǎn)線上產(chǎn)品質(zhì)量的快速檢驗(yàn)和微電子生產(chǎn)工藝研究。 儀器基于干涉計(jì)量的全場測試原理, 可實(shí)時觀測面型的分布, 迅速了解被測樣品的形貌及應(yīng)力集中位置, 及時淘汰早期失效產(chǎn)品。
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