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四探針測試儀/四探針電阻率測試儀/四探針檢測儀/單測四探針檢測儀(接電腦，含自動(dòng)測試臺(tái)）

產(chǎn)品型號(hào)：GSZ-RTS-4

產(chǎn)品概述:

四探針測試儀/四探針電阻率測試儀/四探針檢測儀/單測四探針檢測儀(接電腦，含自動(dòng)測試臺(tái)）型號(hào)：GSZ-RTS-4（SDY-4替代）

四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。

儀器由主機(jī)、測試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。

儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。

本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

四探針軟件測試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對(duì)測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。

測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

四探針測試儀技術(shù)指標(biāo) ：

測量范圍

電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展)；方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展)；電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm；

電阻：0.0001～2000Ω.cm；

可測晶片直徑

140mmX150mm(配 S-2A 型測試臺(tái))；

200mmX200mm(配 S-2B 型測試臺(tái))；

400mmX500mm(配 S-2C 型測試臺(tái))；

恒流源

電流量程分為 0.1mA、1mA、10mA、100mA 四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

量程及表示形式 000.00～199.99 mV；分辨力：10μV；

輸入阻抗＞1000MΩ；精度：±0.1% ；

顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)

間距：1±0.01mm；

針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3％；

探針：碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm；

探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

(見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對(duì)誤差

( 按 JJG508-87 進(jìn)行)

0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω 小于等于 0.3%±1 字

整機(jī)測量最大相對(duì)誤差

(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm 測試) ≤±5％

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

≤5％

測試模式

可連接電腦測試也可不連接電腦測試。

軟件功能（選配）

軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)最大值、最小值、平均值、最大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還

可選擇自動(dòng)測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測試。

計(jì)算機(jī)通訊接口

并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要

1.5 秒。

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

溫度：23±2℃；

相對(duì)濕度：≤65％；無高頻干擾；

無強(qiáng)光直射；

序號(hào)	品名	單位	配置
1	配置一四探針測試儀	套	四探針測試儀主機(jī)一臺(tái)、四探針測試臺(tái)一臺(tái)、四探針探頭一個(gè)
2	配置二四探針測試儀	套	四探針測試儀主機(jī)一臺(tái)、四探針測試臺(tái)一臺(tái)、四探針探頭一個(gè)、測試軟件（含測控模塊）
3	配置三四探針測試儀	套	四探針測試儀主機(jī)一臺(tái)、四探針測試臺(tái)一臺(tái)、四探針探頭一個(gè)、測試軟件（含測控模塊）、臺(tái)式電腦一臺(tái)