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HA/ RTS-5型雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序，通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技術(shù)參數(shù)：
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測(cè)量范圍 |
電阻率：0.001～200Ω.cm(可擴(kuò)展)；
方塊電阻：0.01～2000Ω/□(可擴(kuò)展)；
電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm；
電阻：0.001～200Ω.cm； |
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可測(cè)晶片厚度 |
≤3mm |
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可測(cè)晶片直徑 |
140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))；
200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái))；
400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái))； |
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恒流源 |
電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
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數(shù)字電壓表 |
量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示； |
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四探針探頭基本指標(biāo) |
間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
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四探針探頭應(yīng)用參數(shù) |
(見探頭附帶的合格證) |
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模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) |
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
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整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差 |
(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4% |
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整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 |
≤4% |
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計(jì)算機(jī)通訊接口 |
并口 |
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標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 |
溫度：23±2℃；
相對(duì)濕度：≤65%；
無(wú)高頻干擾；
無(wú)強(qiáng)光直射；
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